Aplicaciones
Películas finas de dióxido de silicio preparadas por deposición de vapor químico a partir de tetrakis (dimetilamino) silano y ozono. Los aminosilanos se prepararon por métodos todos ellos esencialmente similares, y solamente la 15olación de tetrakis-(dimetilamino)-silano.

Solubilidad
Reacciona con el agua.

Notas
Sensible a la humedad. Almacenar en un lugar fresco. Mantener el recipiente bien cerrado en un lugar seco y bien ventilado. Almacenar lejos de agentes oxidantes fuertes, agua, humedad.