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Thermo Scientific™ APIX/APIMS δQ および APIX/VG APIMS Quattro 超高純度 (UHP) 電子ガス分析装置を使用すると、水や酸素を含めた汚染物質のルーチン連続測定を、1 桁 ppt レベルの検出能力で実行できます。
これらのガス分析装置は、従来の品質管理手法に代わる費用効果の高い手法を提供します。各バルクガスに対してさまざまな潜在的汚染物質のモニタリングが可能で、他の技術よりも低い検出限界 (最大で 100 倍の性能) を実現しています。
| 製品タイプ | 超高純度ガス分析装置 |
| 検出限界 | <10ppt (成分により異なる) |
| 検出器タイプ | パルス計数チャネル電子倍増管 |
| イオン源タイプ | 大気圧イオン化 |
| 分析時間 | <1 秒 (成分あたり) |
| バルクガス適合性 | H2、N2、Ar、He (dB モデルの場合は O2 も) |
| 概要 | Electronic gas analyzer |
| 検出ノイズ | 100MHz (パルス計数タイプ) |
| ヘルツ | 100MHz (パルス計数タイプ) |
| モニターされる不純物 | HO2、CO、CO2、H2O、O2、CH2、Kr、Xe (他の不純物も利用可能) |
| イオン源バックグラウンド | <1ppt |
| 測定法 | APIMS dB:トリプルフィルター x 1、APIMS Quattro:トリプルフィルター x 4 |
| 連続接続 | RS232 Serial Port |
| Unit Size | Each |
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| 製品番号（カタログ番号） | 仕様 | 容量 | 製品タイプ | 価格（JPY） | 在庫と納期 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| APIMSXANLYZ | Each | 超高純度ガス分析装置 | 見積もりを依頼する | *** | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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- オンライン品質管理用の信頼性に優れた全自動システム
- 優れた感度および低い検出限界: <10 ppt
- オートスイッチングおよびキャリブレーション
- 高速なオンライン測定 (通常、<5 seconds for complete analysis)
- 施設管理および統合用の業界標準の通信プロトコル
推奨対象:
- UHP 窒素
- UHP アルゴン
- UHP ヘリウム
- UHP 水素
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